海德漢HEIDENHAIN光柵尺LIDA 479/489資料下載 敞開式直線光柵尺 敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。 典型應(yīng)用包括： 半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備 PCB電路板組裝機(jī) 超高精度機(jī)床 高精度機(jī)床 測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備 直驅(qū)電機(jī) | Linear scale | LIDA 409 | | Measuring standard Coefficient of linear expansion | Steel scale tape with METALLUR scale grating; grating period 20 µm αtherm ? 10 · 10–6 K–1 | | Accuracy grade* | ±3 µm, ±15 µm1) | | Baseline error | ≤ ±0.750 µm/50 mm (typical) | | Measuring length ML* in mm | 70 120 170 220 270 320 370
420 520 620 720 820 920 1020 | Scale tape from the roll: 2 m,4 m, 6 m | | Reference marks | One at midpoint of measuring length | Every 50 mm | | Mass | 31 g/m | | | | | | | | | Scanning head | LIDA 48 | LIDA 47 | | Interface | 1 VPP | ? TTL | | Integrated interpolation* Signal period | – 20 µm | 5-fold 4 µm | 10-fold 2 µm | 50-fold 0.4 µm | 100-fold 0.2 µm | | Cutoff frequency –3 dB | ≥ 500 kHz | – | | Scanning frequency* | – | ≤ 400 kHz ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz | ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz | ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz | ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz ≤ 6.25 kHz | | Edge separation a2) | – | ≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs | ≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs | ≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs | ≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs | | Traversing speed2) | ≤ 600 m/min | ≤ 480 m/min ≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min | ≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min ≤ 30 m/min | ≤ 60 m/min ≤ 30 m/min ≤ 15 m/min | ≤ 30 m/min ≤ 15 m/min ≤ 7.5 m/min | | Interpolation error | ±45 nm | – | | Limit switches | L1/L2 with two different magnets; output signals: TTL (without line driver) | | Electrical connection | Cable, 0.5 m, 1 m or 3 m with D-sub connector (male) 15-pin | | Cable length | See interface description, however limit: ≤ 20 m (with HEIDENHAIN cable) | | Voltage supply | DC 5 V ±0.5 V | | Current consumption | < 130 mA | < 150 mA (without load) | | Vibration 55 Hz to 2000 Hz Shock 6 ms | ≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27) | | Operating temperature | –10 °C to 70 °C | | Mass Scanning head Connecting cable Connector | 20 g (without cable) 22 g/m 32 g | | * Please select when ordering 1) ±5 µm after linear length-error compensation in the evaluation electronics 2) At a corresponding cutoff or scanning frequency | 絕對(duì)式編碼器 系列 說明 LIC LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動(dòng)進(jìn)行絕對(duì)位置測(cè)量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。 輸出位置值的編碼器 系列 說明 LIP 200 LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號(hào)在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分的信號(hào)轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣，借助參考點(diǎn)確定絕對(duì)原點(diǎn)。 增量式編碼器 系列 說明 LIP 超高精度 LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測(cè)量步距，*的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。 LIF 高精度 LIF敞開式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵，采用干涉掃描方法。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高，安裝特別簡(jiǎn)單，有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中（參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”）。 LIDA 高速運(yùn)動(dòng)和大測(cè)量長度 LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝特別簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。 PP 二維坐標(biāo)測(cè)量 PP二維編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵，采用干涉掃描方法。用于測(cè)量平面中位置。 LIP/LIF 高真空和超高真空技術(shù) 我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見“真空中應(yīng)用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。 以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。 • 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V • 超高真空：LIP 481 U 海德漢敞開式直線光柵尺的全新信號(hào)處理ASIC芯片 海德漢敞開式直線光柵尺是*精度定位或高準(zhǔn)確性運(yùn)動(dòng)的理想選擇。為確保光柵尺在整個(gè)生命周期中都滿足高精度要求，海德漢最新開發(fā)了全新ASIC信號(hào)處理芯片：HSP 1.0。 海德漢HEIDENHAIN光柵尺LIDA 479/489資料下載 |
